Травление. • Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)
• Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)
• Травитель с кинетическим контролем – избирательный, Vтр = f (Т, структура, ориентация)
• Анизотропные и селективные травители - избирательные
•
Анизотропные травители для Si
Анизотропное травление
• Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)
• Травитель с кинетическим контролем – избирательный, Vтр = f (Т, структура, ориентация)
• Анизотропные и селективные травители - избирательные
Состав травительных смесей:
• Окислитель (например, H2O, H2O2, HNO3)
• Комплексообразователь-растворитель (например, H2 SO4, NH4OH)
• Растворитель
• Ускоритель или замедлитель реакций окисления
• Специальные добавки
Виды жидкостного травления:
1. Полирующее (изотропное) – растворение
материала с одинаковой скоростью по всем
направлениям
2. Анизотропное – неодинаковая скорость
по разным направлениям
3. Селективное – повышенная скорость
травления в местах выхода на поверхность
структурных дефектов
Травление в кислотах: HF+HNO3+CH3COOH (травитель СР-4), полирующее травление
Травление в СР-4 (продолжение): зачем нужна уксусная кислота?
СН3СООН:
- Используется вместо воды как разбавитель
- Имеет гораздо меньшую диэлектрическую постоянную, чем вода (6,15 против 81), что дает меньшую степень диссоциации HNO3 и более эффективное травление
- Её молекулы менее поляризованы, чем молекулы воды, что обеспечивает лучшее травление слегка гидрофобных кремниевых пластин
Травление в парогазовых смесях (ПГС)
Используется:
1.Для очистки поверхности перед эпитаксией,
металлизацией, нанесением фоторезиста
2. Для формирования микрорельефа перед локальной
эпитаксией - заполнением вытравленных канавок
Принцип действия: химическая реакция компонентов
ПГС с образованием летучих соединений и их удалением
Недостаток: высокая температура процесса
Лазерно-стимулированное травление в ПГС
1 – ввод ПГС, 2 –вывод ПГС, 3 – пьедестал, 4 – подложка, 5 – лазер,
6 – оптическое стекло
Воздействие лазерного излучения:
- возбуждение частиц газовой фазы, активизация и ускорение
газофазных реакций;
- активизация адсорбированных частиц и ускорение
поверхностных реакций.
Дата добавления: 2015-09-18 | Просмотры: 706 | Нарушение авторских прав
|