АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Травление. • Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)

Прочитайте:
  1. Анемии, связанные со свинцовым отравлением
  2. ЛЕЧЕНИЕ больных с острым отравлением морфином строится на тех же принципах, что и лечение острой интоксикации барбитуратами. Меры помощи выделяют специфические и неспецифические.
  3. Микрообработка кремния локальным травлением
  4. Морфин, механизм действия, фармакологические эффекты, применение. Острое отравление, лечение. Лекарственная зависимость, социальные аспекты, принципы терапии.
  5. Острое отравление литием
  6. Острое отравление морфином
  7. Острое отравление «ОО»
  8. ОТРАВЛЕНИЕ
  9. Отравление аконитом
  10. ОТРАВЛЕНИЕ АЛКОГОЛЕМ.

• Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)

• Травитель с кинетическим контролем – избирательный, Vтр = f (Т, структура, ориентация)

• Анизотропные и селективные травители - избирательные

 

Анизотропные травители для Si

Анизотропное травление

• Травитель с диффузионным контролем – полирующий, Vтр = f (η, перемешивание, Т)

• Травитель с кинетическим контролем – избирательный, Vтр = f (Т, структура, ориентация)

• Анизотропные и селективные травители - избирательные

 

Состав травительных смесей:

• Окислитель (например, H2O, H2O2, HNO3)

• Комплексообразователь-растворитель (например, H2 SO4, NH4OH)

• Растворитель

• Ускоритель или замедлитель реакций окисления

• Специальные добавки

 

Виды жидкостного травления:

1. Полирующее (изотропное) – растворение

материала с одинаковой скоростью по всем

направлениям

2. Анизотропное – неодинаковая скорость

по разным направлениям

3. Селективное – повышенная скорость

травления в местах выхода на поверхность

структурных дефектов

 

Травление в кислотах: HF+HNO3+CH3COOH (травитель СР-4), полирующее травление

Травление в СР-4 (продолжение):
зачем нужна уксусная кислота?

СН3СООН:

- Используется вместо воды как разбавитель

- Имеет гораздо меньшую диэлектрическую постоянную, чем вода (6,15 против 81), что дает меньшую степень диссоциации HNO3 и более эффективное травление

- Её молекулы менее поляризованы, чем молекулы воды, что обеспечивает лучшее травление слегка гидрофобных кремниевых пластин

 

Травление в парогазовых смесях (ПГС)

Используется:

1.Для очистки поверхности перед эпитаксией,

металлизацией, нанесением фоторезиста

2. Для формирования микрорельефа перед локальной

эпитаксией - заполнением вытравленных канавок

Принцип действия: химическая реакция компонентов

ПГС с образованием летучих соединений и их удалением

Недостаток: высокая температура процесса

 

Лазерно-стимулированное травление в ПГС

1 – ввод ПГС, 2 –вывод ПГС, 3 – пьедестал, 4 – подложка, 5 – лазер,

6 – оптическое стекло

Воздействие лазерного излучения:

- возбуждение частиц газовой фазы, активизация и ускорение

газофазных реакций;

- активизация адсорбированных частиц и ускорение

поверхностных реакций.

 


Дата добавления: 2015-09-18 | Просмотры: 706 | Нарушение авторских прав







При использовании материала ссылка на сайт medlec.org обязательна! (0.003 сек.)