Принцип работы сканирующего ионного микроскопа
По принципу работы сканирующий ионный микроскоп аналогичен растровому электронному, но сканирующий ионный микроскоп использует вместо электронов пучок ионов гелия. Принципиальная схема сканирующего микроскопа представлена на рисунке:
Катод
Фокусирующий электрод
Анод
Диафрагма
Первая конденсаторная линза
Вторая конденсаторная линза
Отклоняющие катушки
Стигматор
Объективная линза
Диафрагма
Усилитель фотоумножителя
Генераторы развертки
Образец
Детектор вторичных электронов
Дата добавления: 2015-09-03 | Просмотры: 468 | Нарушение авторских прав
1 | 2 | 3 | 4 |
|