АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Диффузия из жидкой фазы

При больших парциальных давлениях концентрация примеси в поверх-ностном слое может быть такой, что будет образовываться жидкая фаза, если позволяет диаграмма состояния. Практически различают два типа взаимо-действий на поверхности: образование сплава и химическое взаимодействие.

Примесные элементы (например, алюминий, индий и галлий) могут быть нанесены на пластину полупроводника испарением в вакууме. При следующей диффузии на поверхности пластин в соответствии с фазовой диаграммой образуется жидкий сплав. Поверхностная концентрация определяется только термодинамическими свойствами системы примесь – полупроводник и равна предельной растворимости примеси при данной температуре диффузии.

Второй тип взаимодействий на поверхности заключается в химической реакции донорной или акцепторной примеси с полупроводником. Обычно имеет место взаимодействие между полупроводником и жидкой поверхностной фазой, состоящей из окисла, например S_iO₂, первоначально присутствующего на полупроводнике, и донорного либо акцепторного окисла, используемого при диффузии. При температуре выдержки в реагирующей фазе устанавливается равновесная концентрация доноров или акцепторов. Скорость перехода примеси из этой фазы в полупроводник очень велика и распределение примеси соответствует случаю источника с постоянной поверхностной концентрацией, как и при наличии сплава.

Дата добавления: 2015-10-11 | Просмотры: 438 | Нарушение авторских прав