АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Диффузия в замкнутом объеме

Пластины кремния помещаются совместно с некоторым количеством примеси в кварцевую ампулу, которая откачи-вается до давления 10^-4 – 10^{-5 мм рт. ст. и запаивается. Иногда ампула заполняется чистым инертным газом. Далее ампулу выдерживают при высокой температуре определенное время, в течение которого идет процесс диффузии газообразной примеси в кремний.}

Давление паров примеси, устанавливающееся над поверх-ностью кремния, определяет величину поверхностной концент-рации, поэтому, изменяя концентрацию примеси в газовой фазе,

Рис. 2.1

можно менять в широких пределах поверхностную концент-рацию примеси. Возможность такого упраления процессами диффузии является существенным достоинством данного способа. Для изменения давления паров можно использовать замкнутую систему, представляющую собой эвакуированную замкнутую систему с отростком. На рис. 2.1 представлена схема установки для диффузии в замкнутом объеме, где 1, 2 – трубчатые печи; 3 – кварцевая труба; 4 – кварцевая кассета с пластинами; 5 – диффузант; 6 – кварцевая ампула.

Изменением температуры примеси, находящейся в отростке, можно регулировать давление паров диффузанта.

Дата добавления: 2015-10-11 | Просмотры: 485 | Нарушение авторских прав