АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Эллипсометрические методы контроля. Контроль качества поверхности по картинам отражения когерентного света лазера

Контроль качества поверхности по картинам отражения когерентного света лазера

Оптическая микроскопия используется для контроля неровности пластин кремния. Микронеровности не должны превышать 10^-9 м. Лазер создает пучок света, кот расширяется калиматором. Далее свет проходит через полупрозрачное зеркало и отражается от исследуемой пластины кремния. Далее отраженный от пластины свет снова попадает на зеркало и затем на экран. Интерференция проходит между лучами отраженными от выступов и от впадин на пластине. Если бы шероховатости не было бы и пластина была бы хорошо отполирована, то изображение состояла бы из повторяющихся фрагментов, а не из фигур с неровными краями. В случае необходимости метод может использоваться для контроля многослойных структур. В этом случае интерферируют не лучи, отраженные от разных точек поверхности, а лучи, отраженные от всевозможных неоднородностей внутри пленки. По этой схеме может контролироваться форма области эмиттера внутри области базы и форма области базы внутри области коллектора. По этой же схеме контролируют наличие пыли и пузырьков в слое фоторезистора, так как это может привести к формированию ненужных отверстий в оксидной маске.

Эллипсометрические методы контроля

Для контроля плоскости поверхности применяют интерферометры, представленные на рис 8. В этом методе, лазер с калиметром на линзах с полупрозрачным зеркалом и так называемым эталонным клином (пластина). В этом случае интерферирует не лучи, отраженные от выступов и впадин на ислед пластине, а лучи, отраженные от пластин и отраженные от нижней поверхности пластин (эталонный клин). Те и другие лучи отражаются от полупрозрачного зеркала и через объектов попадают либо на экран либо на приемную телевизионную трубку. На экране возникает интерференционная картина и далее ее сравнивают с эталонной картиной. если соответствие удовл, то она признается годной для дальнейшей обработки. Метод позволяет по величине эллиптических колец судить о степени изгиба пластины и величину напряжения изгиба по формуле: Ϭ=Eh/(4ρ(1-µ)) Ϭ-изгибающее напряжение, E – модуль упругости, h – толщина пластины, µ - коэф-т Пуассона, ρ- радиус изгиба.

10) Инфракрасная микроскопия в микроэлектронике. Т.к. ИК спектроскопия может стать весьма полезным источником инф-ции о состоянии наружных орбиталей и молекул, большой интерес представляют ИКМ и радиометры. В радиометрах как правило исследуется излучение, испускаемое объектом в достаточно широком спектре частот из ИК области. Т.е. исслед-я тепловое излучение отдельных участков объектов. Т.к. в ИК области поглощение ЭМ излучения различными мат-лами резко возрастает, исп-ть для радиометров и микроскопов обычные линзы нерационально. Наблюдается сильная хроматическая аберрация, т.е сильная зависимость величины фокусного расстояния от. Более рац-ным явл-ся исп-ние оптики отраженного света, т.е. вместо линз исп-ся зеркала. В этом случае изл-ние не проходит ч/з поглощающий объект, четкость изобр-я сущ-но повышается. Вторым недостатком явл-ся малое отклонение сигнал/шум => возникают проблемы, связанные с электр. усилением слабых сигналов. Энергию ИК излучения сравнительно легко можно превратить в напряжение или эл.ток, например с помощью полупровдн. преобразователей. Но это будет сигналом постоянного или слабо меняющегося напр-ния или тока. Для усиления применяются УПТ. Их общий недостаток в сильном дрейфе 0. Чтобы избавиться от дрейфа 0 пост. сигнал ИК излучения превращают в переменный сигнал, при этом величина пост. напр-ния бывает = амплитуде перемен-го. Усилители перемен-го сигнала свободны от недостатков типа дрейфа 0. Разрешающая способность современных радиометров – несколько мкм.

Дата добавления: 2015-09-03 | Просмотры: 401 | Нарушение авторских прав