АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Эллипсометрические методы контроля

Для контроля плоскости поверхности применяют интерферометры, представленные на рис 8. В этом методе, лазер с калиметром на линзах с полупрозрачным зеркалом и так называемым эталонным клином (пластина). В этом случае интерферирует не лучи, отраженные от выступов и впадин на ислед пластине, а лучи, отраженные от пластин и отраженные от нижней поверхности пластин (эталонный клин). Те и другие лучи отражаются от полупрозрачного зеркала и через объектов попадают либо на экран либо на приемную телевизионную трубку. На экране возникает интерференционная картина и далее ее сравнивают с эталонной картиной. если соответствие удовл, то она признается годной для дальнейшей обработки. Метод позволяет по величине эллиптических колец судить о степени изгиба пластины и величину напряжения изгиба по формуле: Ϭ=Eh/(4ρ(1-µ)) Ϭ-изгибающее напряжение, E – модуль упругости, h – толщина пластины, µ - коэф-т Пуассона, ρ- радиус изгиба.

10) Инфракрасная микроскопия в микроэлектронике. Т.к. ИК спектроскопия может стать весьма полезным источником инф-ции о состоянии наружных орбиталей и молекул, большой интерес представляют ИКМ и радиометры. В радиометрах как правило исследуется излучение, испускаемое объектом в достаточно широком спектре частот из ИК области. Т.е. исслед-я тепловое излучение отдельных участков объектов. Т.к. в ИК области поглощение ЭМ излучения различными мат-лами резко возрастает, исп-ть для радиометров и микроскопов обычные линзы нерационально. Наблюдается сильная хроматическая аберрация, т.е сильная зависимость величины фокусного расстояния от. Более рац-ным явл-ся исп-ние оптики отраженного света, т.е. вместо линз исп-ся зеркала. В этом случае изл-ние не проходит ч/з поглощающий объект, четкость изобр-я сущ-но повышается. Вторым недостатком явл-ся малое отклонение сигнал/шум => возникают проблемы, связанные с электр. усилением слабых сигналов. Энергию ИК излучения сравнительно легко можно превратить в напряжение или эл.ток, например с помощью полупровдн. преобразователей. Но это будет сигналом постоянного или слабо меняющегося напр-ния или тока. Для усиления применяются УПТ. Их общий недостаток в сильном дрейфе 0. Чтобы избавиться от дрейфа 0 пост. сигнал ИК излучения превращают в переменный сигнал, при этом величина пост. напр-ния бывает = амплитуде перемен-го. Усилители перемен-го сигнала свободны от недостатков типа дрейфа 0. Разрешающая способность современных радиометров – несколько мкм.

Дата добавления: 2015-09-03 | Просмотры: 437 | Нарушение авторских прав