АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Методические указания. При проведении процесса диффузии наиболее строгие требования должны предъявляться к точности поддержания температуры диффузии

При проведении процесса диффузии наиболее строгие требования должны предъявляться к точности поддержания температуры диффузии. Поскольку температура входит в показатель экспоненты в выражении (5), то ее изменение сильнее сказывается на параметрах диффузионных переходов, чем изменение времени диффузии. Кроме того, от температуры во многих случаях сильно зависит поверхностная концентрация примеси. Поэтому перед проведением процесса диффузии важно установить требуемую температуру процесса и определить температурный профиль печи.

В настоящее время в промышленности широко используются однотрубные и трехтрубные диффузионные печи типа СДОМ. Печи этого типа устойчиво работают в диапазоне температур 900-1250°С, при этом заданная температура поддерживается с точностью ± 0,5°С на длине зоны в 600мм. Перед началом выполнения работы внимательно изучите описание диффузионной печи СДОМ и инструкцию по ее эксплуатации.

Наилучшим материалом для изготовления труб, в которых диффузионная система помещается в печь, является чистое прозрачное кварцевое стекло. Кварцевое стекло чаще всего применяется и для изготовления лодочек для пластин, источника, толкающих стержней.

Как известно, загрязнения, вносимые в кремний из внешней среды, нагревателя, стенок рабочей камеры и т.д. могут влиять на результаты изучаемого процесса. Поэтому большое значение для получения воспроизводимых результатов при диффузии имеет обработка поверхности полупроводниковых пластин и оснастки; необходимо следить и за чистотой проведения процесса.

Перед началом выполнения работы внимательно ознакомьтесь с оснасткой, используемой при проведении термических процессов. Просмотрите видеофрагменты по диффузионному легированию полупроводников при производстве кристаллов СБИС и компьютерные программы по теме "Диффузия" (MODDIF, DIF, DIFF, DIFFUZ).

Дата добавления: 2015-10-11 | Просмотры: 381 | Нарушение авторских прав