АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Кремний ориентации (110)

Пластина кремния (110) пересекается шестью плоскостями {111}, из которых четыре перпендикулярны поверхности (110), а остальные две пересекают плоскость (110) под углом 35°26’. Плоскости (1 ) и () перпендикулярны поверхности (110) и пересекаются между собой под углом 109°48’. Процесс травления канавки на кремнии ориентации (110) – самоостанавливающийся процесс и приостанавливается, когда канавка ограничивается шестью плоскостями (111): четырьмя вертикальными и двумя наклонными. Наклонные плоскости {111} препятствуют травлению. Если дно канавки ограничено плоскостью (110), то самоограничения травления еще не наступило.

Фигуры травления на подложках кремния с ориентациями (100) и (110) в зависимости от ориентационных условий приведены в таблице 1. При ориентации системы параллельных полос, расположенных вдоль [100], образуются трапецеидальные или V-образные канавки с (111) боковыми стенками под углом 35°16’ к начальной поверхности (100).

Таблица 1.

Ориентационные условия и полиэдры на подложках кремния с ориентациями {100} и {110}.

Дата добавления: 2015-12-15 | Просмотры: 1116 | Нарушение авторских прав