АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Состав травителей

Прочитайте:
  1. II. В дневнике для практических работ составить формулы молочных и постоянных зубов.
  2. III.С целью систематизации знаний составьте таблицу по предлагаемой схеме.
  3. Акриловые пластмассы. Состав. Физико-механические свойства. Пластмассы, выпускаемые промышленностью для изготовления зубных протезов.
  4. Аминокислотный состав белков
  5. Анатомический состав органов ротовой полости. Подробно остановиться на строении твердого и мягкого неба: значение, иннервация, кровоснабжение.
  6. Безводные эластомерные оттискные материалы. Виды. Составы, свойства и методики приготовления.
  7. Белки в питании человека. Состав и виды белков. Нормы потребления для различных групп населения и спортсменов.
  8. Биохимический состав вирусных частиц.
  9. Биохимический состав вирусных частиц.
  10. В норме АД составляет – 120/80 мм.рт.ст.

Химическое травление полупроводников основано на процессах окисления поверхности и удаления образовавшихся продуктов. В состав травителей обычно включаются:

1) растворитель;

2) окислитель, который обеспечивает образование окисла на поверхности кремния, основными окислителями в кислотных травящих растворах для кремния являются HNO3 и H2O2;

3) комплексообразователь, который в результате взаимодействия с диоксидом кремния образует растворимое соединение. К комплексообразователям относятся, например, такие кислоты как HF и HCl;

4) ускорители или замедлители первых двух реакций, если последние протекают с такой скоростью, что ими трудно управлять (например, Br2);

5) замедлитель реакции травления. Чаще всего для этого используют ледяную уксусную кислоту (CH3COOH) или воду. Следует отметить, что разбавление травителя водой может иногда привести к выявлению структурных дефектов.

6) специальные добавки, обусловливающие селективность действия травителя.

Наиболее распространенными травителями для кремния являются смеси на основе азотной и плавиковой кислот. Для получения с их помощью однозначных результатов требуется чрезвычайно тщательная очистка поверхности; кроме того, необходимо следить, чтобы в процессе травления поверхность не приходила в контакт с воздухом. Основные составы травителей и режимы травления представлены в таблице 2.

Таблица 2.

Составы травителей и режимы травления.

№ п.п Состав травителя Режимы травления
Смеси на основе азотной и плавиковой кислот
  Травитель Уайта: 3ч.HNO3+1ч.HF Полирующий травитель. Травление поверхности (111)
  Травитель Деша: 1ч.HF+3ч.HNO3+10ч.CH3COOH Травление всех плоскостей. Образование глубоких ямок, проходящих вдоль дислокационных линий внутрь кристалла.
  40мл HF+35млHNO3+25млH2O+ +10млCH3COOH+1гCu(NO3)23H2O Травление всех плоскостей. Образо-вание глубоких ямок, проходящих вдоль дислокационных линий внутрь кристалла.
  Травитель CP-4A: 3ч.HF+5ч.HNO3+3ч. CH3COOH Медленное химическое полирование.
  8ч.40-42%-ной HF+ +10ч.56-57%-нойHNO3+10ч.CH3COOH Плоскости (111), (110) и (100).
  10ч. 40-42%-ной HF+ +10ч. 56-57%-ной HNO3+ +20ч. CH3COOH+3ч. Br2 Плоскости (111), (110) и (100).
  Медный травитель: 4млHF+2млHNO3+ +4млH2O+0.2гCu(NO3)2 3H2O Плоскости (111), (110) и (100).
  5ч. медного травителя + 3ч.CP-4 Плоскости (111), (110) и (100).
  10г 47-49%-ной HF+ +5г 70-71%-ной HNO3+14гCH3COOH Полирующий травитель
  600±6млHF+ +300±3млHNO3+ +28±0.3гCu(NO3)2 3 H2O Дислокационный травитель.
Травители на основе хромовой и плавиковой кислот
  1.Основной раствор: 50г CrO3+100млH2O 2.Основной раствор перемешивают с 38-40%-ной HF в отношении 2:1 для больших, 1:1 для средних и 2:3 для небольших ямок травления (высокая плотность дислокаций) Образование ямок травления на плоскости (111)
  1ч. водного раствора CrO3 (2ч. H2O+1ч. CrO3)+1ч. HF Химическая полировка
Продолжение табл.2.
  1ч. HF+1ч.H2CrO4  
    «Окрашивающие» травители
  100ч. HF +0.1-0.5 ч. HNO3 Выявление p-n-перехода. Материал p-типа темнеет больше, чем n-типа
  50мл разбавленного раствора Cu(NO3)2+1-2 капли HF Выявление p-n-перехода. Медь осаждается на материале n-типа (на участках с более низким удельным сопротивлением осаждение происходит интенсивнее)
Методы анодного травления
  1ч. 48%-ной HF+1ч. CH3COOH (лед) Образование фигур травления на кристаллах Si n-типа.
Щелочные травители
  1-30 %-ный раствор NaOH или KOH Быстро выявляются детали структуры, особенно хорошо – двойниковые ламели на плоскости (111)
  4%-ный NaOH. К раствору добавляют 40%-ный NaOCl до тех пор, пока на кремнии не прекратится выделение водорода Для утонения образцов при электронной микроскопии

 

Дата добавления: 2015-12-15 | Просмотры: 1603 | Нарушение авторских прав

При использовании материала ссылка на сайт medlec.org обязательна! (0.003 сек.)