АкушерствоАнатомияАнестезиологияВакцинопрофилактикаВалеологияВетеринарияГигиенаЗаболеванияИммунологияКардиологияНеврологияНефрологияОнкологияОториноларингологияОфтальмологияПаразитологияПедиатрияПервая помощьПсихиатрияПульмонологияРеанимацияРевматологияСтоматологияТерапияТоксикологияТравматологияУрологияФармакологияФармацевтикаФизиотерапияФтизиатрияХирургияЭндокринологияЭпидемиология

Анизотропное травление в жидкой фазе

Анизотропное травление кремния известно давно. Одна из первых работ, посвященная этому вопросу написана Фаустом (Faust) в 1959 г., в работе описывается травление кремния различной ориентации в растворе NaOH и H₂O. Развитие анизотропного травления продолжалось в течение 1960-ых годов. Рассматривались зависимости процесса травления от кристаллографической ориентации образцов, от концентрации и состава травителей. В 1970 г. было выявлено, что 50% водный раствор KOH травит кремний кристаллографической ориентации <110> приблизительно в 25 раз быстрее, чем в направлении <111>. В связи с такой особенностью, водный раствор гидроксида калия, с различным процентным содержанием щелочи, стал широко применяться для анизотропного травления. Также и в данной дипломной работе в качестве травителя кремния используется гидроксид калия.

Высокоанизотропные травители - те травители, которые травят кремниевую подложку в направлении <100> и <110> с намного более высокой скоростью, чем в направлении <111>. Такие травители используются прежде всего при изготовлении схемных структур, например при производстве интегральных микросхем, и в технологии производства элементов на сапфировых подложках. При этом травление производится сквозь соответствующие отверстия в маскирующем слое. Структурное вытравливание основано на точно кристаллографически определенном V-образном вытравливании линий на поверхности (100) кремния и обусловлено сильно различающимися скоростями травления в направлениях <110> и <111> (скорость травления в направлении <100> выше) (см. рис.1).

Рис.1. Преимущественное травление кремния вдоль кристаллографических направлений <100> и <110>.

Анизотропными травителями с преимущественным воздействием на кристаллографические плоскости с малыми индексами являются в основном щелочные реагенты. Плотность свободных связей (дефектов, обусловленных свободными незавершенными связями граничной кристаллической плоскости) для этих плоскостей находится в соотношении 1.00: 0.71: 0.58.

Дата добавления: 2015-12-15 | Просмотры: 644 | Нарушение авторских прав